OVERVIEW

大和テクノシステムズとは

電子顕微鏡の部品を軸に、最小φ2μmの微細な穴あけまで手がける精密部品の受託製造会社

大和テクノシステムズは、東京都町田市に本社を置く、1967年創業の精密部品の受託製造会社です。電子顕微鏡用フィラメントの製造会社として創立し、電子顕微鏡の部品を軸に、分析装置・医療機器・半導体製造装置などの先端機器向けの部品を手がけています。業務内容は、電子顕微鏡用精密部品の受託製造販売、分析機器・半導体検査装置・産業機器用の微細精密部品の受託製造販売、電子顕微鏡の保守メンテナンスサービス事業としています。2026年7月には、町田市旭町に「旭町ファクトリー」を開設しました。

同社は、タングステン・モリブデン・タンタルなどの高融点金属の微細加工を得意としています。放電電極を自社で内製し、導電性の素材に最小φ0.002mm（φ2μm）の穴をあけられるとしています。穴あけのあとのバリ取り、精密洗浄、オスミウム成膜、めっき・熱処理、顕微鏡での検査、真空パック包装までを、協力会社とも組んで一括で受けています。ほとんどが顧客の仕様にもとづく受託製造で、カタログ品や汎用製品はないとしています。

こんな相談に向いています

φ0.01mm以下の極小の穴が必要だが、対応できる会社が見つからない

微細放電穴加工で、最小φ0.002mm（φ2μm）の穴加工ができるとしている。

切削で断られた、モリブデン・タングステンなどの硬い金属に穴をあけたい

放電加工は、金属と電極のあいだの放電で材料を溶かして削る方法。

穴のバリや、目に見えない汚れで部品が使えなくなる

穴の内面まで鏡面に近く仕上げる微細バリ取りと、顕微鏡で全数を検査する精密洗浄を行う。

真空装置や電子顕微鏡の部品を、洗浄から包装まで任せたい

材質の選定から加工、特殊洗浄、ろう付け、溶接、真空ベーキング、真空リーク検査、真空パック包装まで対応するとしている。

出典：会社概要・IMS方針・沿革｜大和テクノシステムズ、私たちの強み｜大和テクノシステムズ、微細放電穴加工（極細穴）｜大和テクノシステムズ、ホーム｜大和テクノシステムズ、よくあるご質問｜大和テクノシステムズ、電子源（フィラメント）｜大和テクノシステムズ

SERVICES

技術・サービス

大和テクノシステムズの公式サイトは、製品（電子顕微鏡部品・質量分析装置ほかの部品）と技術（微細放電穴加工・微細バリ取り・精密洗浄・オスミウム成膜・電子源用フィラメント加工・表面処理・熱処理・検査体制・その他の加工）に分かれています。編集部ではこれを、読者が依頼する内容に沿って6つにまとめました。

出典：大和テクノシステムズ「微細放電穴加工（極細穴）」

微細放電穴加工

自社で作る極細の電極で、導電性の素材に最小φ0.002mmの穴をあける。

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出典：大和テクノシステムズ「微細穴バリ取り・内面仕上げ」

微細バリ取り・精密洗浄・検査

微細穴の内面の仕上げと、ナノレベルの汚れの除去、顕微鏡での全数検査を行う。

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出典：大和テクノシステムズ「電子銃」

電子銃・フィラメント

電子顕微鏡の電子源になる熱電子銃や、質量分析用のフィラメントをつくる。

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出典：大和テクノシステムズ「シンチレータ」

アパーチャー・シンチレータ・特注試料台

電子顕微鏡の絞り、検出器の部品、試料台などを、顧客の仕様でつくる。

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出典：大和テクノシステムズ「各種表面処理・熱処理」

成膜・めっき・熱処理

オスミウム成膜のほか、めっき・スパッタ・蒸着・真空熱処理を、加工後に一括で行う。

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出典：大和テクノシステムズ「その他各種加工方法のご紹介」

シム・スペーサー・光学スリット

厚さ0.005mmからの極薄のシムや、幅0.01mmの光学スリットなどの特殊部品をつくる。

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CASES

実績（公開されている事例）

大和テクノシステムズが公式サイトで公開している事例から、編集部が9件を選びました。詳しい内容は各事例のページでご覧ください。

微細放電穴加工モリブデンアパーチャー

モリブデンのφ0.005mmの穴

モリブデンにあけたφ0.005mm（5μm）の穴の電子顕微鏡写真を、アパーチャーの製品ページに載せている。

出典：大和テクノシステムズ「アパーチャー」

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微細放電穴加工ステンレスアパーチャー

ステンレスのφ0.01mmの穴

ステンレス（SUS）にあけたφ0.01mmの穴の電子顕微鏡写真。穴の壁面の様子まで見える。

出典：大和テクノシステムズ「アパーチャー」

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微細バリ取り内面仕上げアパーチャー

微細穴のバリ取り（加工前と後）

穴の縁に残った微細なバリを取り除き、きれいな円に仕上げた。仕上げ前（左）と後（右）の電子顕微鏡写真を載せている。

出典：大和テクノシステムズ「微細穴バリ取り・内面仕上げ」

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精密洗浄モリブデンアパーチャー

アパーチャーの精密洗浄（洗浄前と後）

モリブデンのアパーチャーに付いたわずかな汚れを、洗浄で除去した。洗浄前（左）と後（右）を載せている。

出典：大和テクノシステムズ「精密洗浄・特殊洗浄」

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シムチタンエッチング

チタンの極薄シム（厚さ0.005mm）

厚さ0.005mmのチタンのシムを、エッチングで製作した。レーザーやワイヤーカットで起こりやすい歪みや焼け焦げを抑えられるとしている。

出典：大和テクノシステムズ「その他各種加工方法のご紹介」

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光学スリットニッケルエレクトロフォーミング

幅0.01mmの矩形スリット

光の回折を使う実験や光学装置に使う矩形スリットを、ニッケルのエレクトロフォーミングで製作した。幅は0.01mm。

出典：大和テクノシステムズ「その他各種加工方法のご紹介」

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特注試料台電子顕微鏡ホルダ

ウェハ表面観察用の試料ホルダ

電子顕微鏡でウェハの表面を観察するための試料ホルダ。特注の試料台の製品例の1つとして載せている。

出典：大和テクノシステムズ「特殊部品」

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電子光学部品電極鏡面仕上げ

電子顕微鏡用ウェネルト

電子銃に使うウェネルト。高電圧の電子ビームが通る電極部品で、表面の鏡面仕上げと中心穴のバリ除去を行うとしている。

出典：大和テクノシステムズ「特殊部品」

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フィラメント質量分析装置セラミック

GC-MS用の電子源フィラメント

ガスクロマト質量分析装置（GC-MS）のEI方式のフィラメントを製作している。製品写真の1つ。

出典：大和テクノシステムズ「質量分析装置・半導体製造装置・産業機械部品」

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出典：大和テクノシステムズの公式サイトの事例ページ（各カードのリンク先）。写真は各ページから引用しています。

FACILITIES & RESULTS

設備と主な数字

公式サイトには、実績をまとめた事例一覧のページがありません。ここでは、技術と製品の各ページに載っている加工例の写真から、内容の違う9件をカードにしました。客先の名前は書かれていません。

アパーチャーなどのほとんどは、顧客の仕様にもとづく受託製造品で、写真は代表的な製品例です。

上の数字の帯：1967年 創業（電子顕微鏡用フィラメントの製造会社として）／φ2μm 微細放電穴加工の最小の穴径（φ0.002mm）／10〜20nm オスミウム成膜の膜厚／46名 従業員数（会社概要）

出典：その他各種加工方法のご紹介｜大和テクノシステムズ、微細放電穴加工（極細穴）｜大和テクノシステムズ、アパーチャー｜大和テクノシステムズ、微細穴バリ取り・内面仕上げ｜大和テクノシステムズ、精密洗浄・特殊洗浄｜大和テクノシステムズ、主要設備｜大和テクノシステムズ、検査体制｜大和テクノシステムズ、各種表面処理・熱処理｜大和テクノシステムズ、CVD法によるオスミウム成膜技術｜大和テクノシステムズ

COMPANY

会社概要

出典：会社概要・IMS方針・沿革｜大和テクノシステムズ、アクセス｜大和テクノシステムズ

ON THIS SITE

こんな課題で紹介しています

ものづくり技術百科では、次の記事で大和テクノシステムズを紹介しています。記事の中の企業紹介に詳しい説明があります。

• 硬い材料に細かい形・穴を加工したい →φ2μm までの微細放電穴加工

BEFORE CONTACT

問い合わせる前に整理しておくこと

問い合わせは、公式サイトのお問い合わせフォーム、メール、FAX、電話で受け付けています。フォームの回答は原則1営業日以内としています。フォームにはPDFを8MB以下で添付できます。資料請求は、別のフォームから受け付けています。

• 使用用途と、材質（モリブデン・タングステン・タンタルなどの純金属か、ステンレスか）
• 求める穴径・深さと、寸法公差・幾何公差（穴径の公差は穴径の±10％が標準で、最小±1μmまで対応できるとしている）
• 数量と予算（1個からの小ロットや試作も受けている）
• 材料の支給の有無（支給する場合は、失敗に備えた予備も用意する）
• 図面（正式な図面がなくても、ポンチ絵やアイディア書きから相談できるとしている）。内容によっては、NDAの締結やRoHS・REACHへの対応も先に伝える