OVERVIEW

三鷹光器とは

レーザーのオートフォーカスで、急斜面や鏡面の形を触らずに測る三次元測定装置をつくる、東京都三鷹市の光学機器メーカー

三鷹光器は、東京都三鷹市野崎に本社を置く光学機器のメーカーです。1966年（昭和41年）5月の創立で、天体望遠鏡を原点とし、観測ロケットや人工衛星に載せる光学機器、手術用顕微鏡、非接触三次元測定装置をつくっています。三鷹市の大沢研究所、大阪営業所、横浜工場（ロストワックス鋳造）、静岡県の菊川工場（アルミ金型鋳造）などの拠点があります。

産業向けの測定機器は、宇宙開発機器の技術を応用したものだとしています。レーザーのオートフォーカスで高さを測る「ポイントオートフォーカス法」は、ISO 25178-605 として規格になった測定原理です。NH シリーズは X・Y 軸のスケール分解能 0.01µm、AF 軸 0.001µm で、最大傾斜角 87 度の急斜面や、鏡面・透明なレンズも、触らずに測れるとしています。

こんな相談に向いています

非球面レンズや金型の自由曲面を、触らずに細かく測りたい

NH-3SPs は可動範囲 150×150×120mm（AF 軸 10mm）、X・Y 軸のスケール分解能 0.01µm・…

急斜面や鏡面で、ほかの光学式では測れなかった形を測りたい

小径ギヤ（モジュール0.3）で最大傾斜角 87 度。

工具の刃先やパンチの全周の形を、数値で比べたい

MLP-3 は、ポイントオートフォーカスのプローブと5軸のステージを組み合わせ、エンドミル・歯車・精密金型パンチなどの全…

広い範囲の粗さ・形を、短い時間で測りたい

PF シリーズは、スキャン AF 機能でインデックス測定の50倍の速さで測れるとしており、1時間20分かかっていた測定が…

出典：会社概要｜三鷹光器、沿革｜三鷹光器、測定機器｜三鷹光器、NH Series｜三鷹光器、PF Series｜三鷹光器、MLP Series｜三鷹光器

SERVICES

技術・サービス

三鷹光器の公式サイトは、事業を「天体望遠鏡」「医療機器」「測定機器」「宇宙開発」「再生可能エネルギー」「ロストワックス」に分けています。ここでは、製造業の設計・開発の方に関係の深い測定機器の4つのシリーズと、医療機器・宇宙開発・天体望遠鏡を並べました。

出典：三鷹光器「NH Series」

非接触三次元測定装置 NH シリーズ

高さを測るレーザーのオートフォーカス顕微鏡と、高精度の XYZ ステージを組み合わせた測定装置。

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出典：三鷹光器「PF Series」

非接触表面性状測定装置 PF シリーズ

スキャン AF 機能と自動 XY ステージで、数十mmの範囲をサブµmの精度で速く測る装置。

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出典：三鷹光器「MLP Series」

全周三次元測定装置 MLP シリーズ

ポイントオートフォーカスのプローブと5軸のステージで、ワークの全周の形をサブµmで測る装置。

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出典：三鷹光器「MA Series」

レンズの評価（MA シリーズ）とレーザープローブ（MP シリーズ）

MA はマイクロレンズアレイなどの形と光学特性を測る装置、MP は加工機やインラインの装置に組み込む小型のレーザープローブ。

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出典：三鷹光器「MIPS（ICG蛍光観察装置）」

医療機器（手術用顕微鏡・MIPS など）

脳神経外科などの手術用顕微鏡システム、4K 3D ビデオ顕微鏡、内視鏡固定具、ICG 蛍光観察装置 MIPS をつくっている。

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出典：三鷹光器「宇宙開発」

宇宙開発・天体望遠鏡

創業以来、宇宙科学研究所の観測プロジェクトに参加し、観測ロケットや人工衛星に載せる観測機器をつくってきたとしている。

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CASES

実績（公開されている事例）

三鷹光器が公式サイトで公開している事例から、編集部が9件を選びました。詳しい内容は各事例のページでご覧ください。

切削工具形状測定

φ0.2mm マイクロエンドミルの外径・すくい角・逃げ角

形状データから外径・すくい角・逃げ角を測る例。φ0.2mm のマイクロエンドミルで、心厚 0.124mm、外径 0.199mm、すくい角 −8.1°、逃げ角 16.7°（平均値）の結果を載せている。

出典：三鷹光器「φ0.2mm マイクロエンドミルの外径・すくい角・逃げ角」

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切削工具刃先

ドリルの輪郭形状と刃先

外観検査に頼っていた工具の測定を、レーザープローブで定量的に行う例。直径 6.008mm、心厚 0.903mm、刃先角度 52.3° などの測定結果を載せている。

出典：三鷹光器「ドリルの輪郭形状と刃先」

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旋削工具3D表示

チップバイトの刃先

チップバイトの刃先を測り、3D 表示・断面の寸法評価・粗さ測定ができるとしている。

出典：三鷹光器「チップバイトの刃先」

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歯車表面粗さ

精密ギヤの歯面

精密ギヤの歯面の形状測定と、表面粗さの評価の例。

出典：三鷹光器「精密ギヤの歯面」

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摩耗3D測定

ブレーキパッドの摩耗量

54×54mm の範囲を3D で測り、バリ・接触面・摩耗面の分割や負荷曲線を計測できるとしている。

出典：三鷹光器「ブレーキパッドの摩耗量」

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研削面粗さ

研削面のびびり模様

精密ガイドレールの研削面を 10×10mm の範囲で3D 測定し、面の粗さ Sz=1.54µm・Sa=0.161µm を求めた例。

出典：三鷹光器「研削面のびびり模様」

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光学金型

フレネルレンズの金型

急な段差がある透明なレンズも測れるとしている、フレネルレンズの金型の測定例。

出典：三鷹光器「フレネルレンズの金型」

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半導体反り

ウエハの反り・うねり

ウエハ全体の反り・うねりを速く測り、いろいろな形で表示できるとしている。

出典：三鷹光器「ウエハの反り・うねり」

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電子部品コプラナリティ

BGA の形状・高さ

BGA の形状・高さの測定と、コプラナリティの評価の例。

出典：三鷹光器「BGA の形状・高さ」

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出典：三鷹光器の公式サイトの事例ページ（各カードのリンク先）。写真は各ページから引用しています。

FACILITIES & RESULTS

設備と主な数字

NH シリーズのページには、測定例として「得意な測定例」9件・「可能な測定例」8件・「オプションにて可能な測定例」3件の計20件を載せています（2026-11-07 時点）。実績の欄の9件は、その中から工具・歯車・摩耗・光学・半導体・電子部品に分けて選びました。写真は測定結果の図です。納入先の名前は載せていません。

沿革では、1996年に NH シリーズの量産を始め、1999年に NH-3SP で分解能1ナノメートルを達成したとしています。PF シリーズのページには、ポイントオートフォーカス法を2008年に ISO に提案し、2014年2月に ISO 25178-605 として公布されたとあります。

上の数字の帯：0.001µm NH-3SPs の AF 軸のスケール分解能／87度 NH シリーズで測れる最大傾斜角（小径ギヤ）／1966年 創立（5月）／17施設 口径50cm以上の望遠鏡を納めた公共施設

出典：NH Series｜三鷹光器、PF Series｜三鷹光器、MLP Series｜三鷹光器、沿革｜三鷹光器、天体望遠鏡｜三鷹光器、MP Series｜三鷹光器

COMPANY

会社概要

出典：会社概要｜三鷹光器

ON THIS SITE

こんな課題で紹介しています

ものづくり技術百科では、次の記事で三鷹光器を紹介しています。記事の中の企業紹介に詳しい説明があります。

• 部品の寸法・形状を正しく測りたい（三次元測定機・非接触測定） →レーザーのオートフォーカスで、急斜面や鏡面の形を触らずに測る

BEFORE CONTACT

問い合わせる前に整理しておくこと

問い合わせは、電話・FAX・お問い合わせフォームで受け付けています。フォームは「測定機器」「医療機器」「その他製品」に分かれています。測定機器のフォームでは、会社名・氏名・住所・電話・職種・興味のある製品（NH Series・MLP-3・PF-60・その他）・カタログや技術資料の希望・題・本文を書きます。ファイルの添付欄はありません。営業時間は 9:00〜17:30（土日祝を除く）です。

• 測りたいワーク（レンズ・金型・工具・ウエハ・電子部品など）と、材料・表面の状態（鏡面・透明・コーティングなど）
• 測りたい量（形状・段差・粗さ・角度・反り・体積など）と、求める精度
• ワークの大きさと、測りたい範囲・最大の傾斜
• いまの測り方（接触式・レーザー顕微鏡・干渉式など）で困っていること
• 装置の購入か、加工機・インラインへの組み込み（MP シリーズ）か